【成膜実績】
基板:セラミックス・ガラス・Siウェハー
樹脂基材(PI、 PC、 PET、 等・・・)
金属基材(Al材、 Ti材、 SUS材、 等・・・)
膜種:金属膜・・・Al、 Au、 Ag、 Cu、 Ni、 Cr、
Mg、 B、 Ti、 Y、 Zr、 Nb、 Mo、
Pb、 In、 Si、 Ta、 W、 Sn、 Pt、 等
積層膜・・・Au/Ni/Cr、 Au/Pt/Ti、 Au/Cr、
Au/Pb/Ti、 Cu/Cr、 等
酸化膜・・・Al2O
3、
SiO2、
SiO、 TiO2、
Cr2O
3、
In2O
3、
ITO、 MgO、
NbO、 Ta2O
5、
WO3、
ZrO2、
ZnO、 等
炭化膜・・・SiC、 TiC、 BC、 等
窒化膜・・・AlN、 BN、 CrN、 MoN、 NbN、
SiN、 TaN、 TiN、 等
その他お気軽にご相談ください。
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