未来メソッドを採り入れたシステムソリューション
成膜実績
基盤 |
セラミックス・ガラス・Siウェハー 樹脂基材(PI、 PC、 PET、 等・・・) 金属基材(Al材、 Ti材、 SUS材、 等・・・) |
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金属膜 | Al、 Au、 Ag、 Cu、 Ni、 Cr、Mg、 B、 Ti、 Y、 Zr、 Nb、 Mo、Pb、 In、 Si、 Ta、 W、 Sn、 Pt、 等 |
積層膜 | Au/Ni/Cr、 Au/Pt/Ti、 Au/Cr、Au/Pb/Ti、 Cu/Cr、 等 |
酸化膜 | Al2O 3、 SiO2、 SiO、 TiO2、 Cr2O 3、 In2O 3、 ITO、 MgO、 NbO、 Ta2O 5、 WO3、 ZrO2、 ZnO、 等 |
炭化膜 | SiC、 TiC、 BC、 等 |
窒化膜 | AlN、 BN、 CrN、 MoN、 NbN、SiN、 TaN、 TiN、 等 |