20μｍ

　　有しているため、低加圧で一括コンタクトができます。

★　コンタクト部のバンプ群は、極めて高い平坦精度を　

　　　合せが容易にできます。

　　　回路基板です。

★　透明なガラス基材のため、検査対象電極との位置

　　　湿度の影響を受けにくい安定した高精度のプローブ

★　業界初のガラス基材を使用することにより、温度や